激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量。

單頻與雙頻激光干涉儀

單頻的激光器它的個根本弱點就是受環境影響嚴重，在測試環境惡劣，測量距離較長時，這缺點十分突出。其原因在于它是種直測量系統，然具有直光平和電平零漂的弊端。激光干涉儀可動反光鏡移動時，光電接收器會輸出信號，如果信號過了計數器的觸發電平則就會被記錄下來，而如果激光束強度發生變化，就有可能使光電信號低于計數器的觸發電平而使計數器停止計數，使激光器強度或干涉信號強度變化的主要原因是空氣湍，機床油霧，切削屑對光束的影響，結果光束發生偏移或波面扭曲。這種無規則的變化較難通過觸發電平的自動調整來補償，因而限制了單頻干涉儀的應用范圍，只有設法用交測量系統代替直測量系統才能從根本上克服單頻激光干涉儀的這弱點。

而雙頻激光干涉儀正好克服了這弱點，它是在單頻激光干涉儀的基礎上發展的種外差式干涉儀。和單頻激光干涉儀樣，雙頻激光干涉儀也是種以波長作為標準對被測長度行度量的儀器，所不同者，方面是當可動棱鏡不動時，前者的干涉信號是介于亮和暗之間的某個直光平，而后者的干涉信號是個頻率約為1.5MHz的交信號；另方面，當可動棱鏡移動時，前者的干涉信號是在亮和暗之間緩慢變化的信號，而后者的干涉信號是使原有的交信號頻率增加或減少了△f，結果依然是個交信號。因而對于雙頻激光干涉儀來說，可用放大倍數較大的交放大器對干涉信號行放大，這樣，即使光強衰減90%，依然可以得到合適的電信號。由于這點，雙頻激光干涉儀可以在恒溫，恒濕，防震的計量室內檢定量塊，量桿，刻尺和坐標測量機等，也可以在普通車間內為大型機床的刻度行標定，既可以對幾十米的大量程行測量，也可以對手表零件等微小運動行測量，既可以對幾何量如長度、角度．直線度、平行度、平面度、垂直度等行測量，也可以用于殊場合，諸如半導體光刻的微定位和計算機存儲器上記錄槽間距的測量等等。

總之，雙頻激光干涉儀的性主要有以下幾點：

1. 度 雙頻激光干涉儀以波長作為標準對被測長度行度量的儀器。即使不做細分也可達到μm 量，細分后更可達到n m量。(安捷倫5530激光干涉儀線性度能達到0.4PPM)

2. 應用范圍廣 雙頻激光干涉儀除了可用于長度的測量外，測量角度、直線度、平面度、振動距離及速度等等，還可以分光行多路測量。

3. 環境適應力強 即使光強衰減 90%，仍然可以得到有效的干涉信號。由于這點，雙頻激光干涉儀既可在恒溫、恒濕、防震的計量室內檢定量塊、量桿、刻尺、微分校準器和坐標測量機，也可以在普通的車間內為大型的機床的刻度行標定。